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Hope皓而普S49 32/MT 质量流量计

Hope皓而普S49 32/MT 质量流量计

简要描述:

Hope皓而普S49 32/MT 质量流量计
耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

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Hope皓而普S49 32/MT 质量流量计

  1. 特点及主要应用领域

  2. 气体质量流量控制器(流量计)Mass gas flow controller(meter)缩写为MFC(MFM))是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)特点:

☆耐压高及适用于真空条件下工作。低压降。工作压力范围宽,气体流量不因温度、压力的变化而变化。

☆主体采用不锈钢(316L)结构,气密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。适用于各种耐腐蚀性气体。

☆具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、工作稳定可靠。

☆可任意位置安装。电气操作控制显示,使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。

☆配合MT-60 系列流量积算仪,可对气体的瞬时流量和累积流量进行精确计量。

S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域:

半导体制造行业的气体流量控制;

分析仪器设备的气体计量与控制;

各种形式的真空镀膜设备;

环境检测与分析设备;

化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制;

特种材料表面处理装置与燃烧控制;

混气配气系统和泄露探测系统等。

2. S49系列质量流量控制器(流量计)型号

S49 32/MT 系列质量流量控制器(流量计),S49为质量流量控制器(流量计)产品,32/MT为本公司此产品设计序列号。

质量流量计用于对气体的质量流量精确测量计量;

质量流量控制器(流量计)不但具有质量流量计的测量计量功能,还具有自动控制气体的质量流量功能。

型式批准证书:2011F215-11

执行Q/CYHMT001-2011企业标准

许可证编号:京制01050063号

3.主要技术指标

质量流量控制器(流量计)流量出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量单位为:mL/min(毫升/分钟);(SCCM行业标准)

L/min (升/分钟)。  (SLM行业标准)

标准状态为:温度----273.15K(0℃);

           气压----101325Pa(760mmHg)

F.S(Full Scale):表示满量程值

Hope皓而普S49 32/MT 质量流量计

表1 S49 32/MT质量流量控制器(流量计)技术指标

编号

项目

S49 32/MT

1

流量规格

(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min

(1,2,3,5,10)L/min

2

调节阀类型

电磁调节阀

3

调节阀静止状态

常闭

4

准确度

±1.5%F.S

5

线性

±1.5%F.S

6

重复精度

±0.2%F.S

7

响应时间

8秒(T95)

8

工作压差范围

50~300kPa;   (100300kPa(10L/min)

9

耐压

3MPa;           10MPa

10

工作环境温度

(5~45)℃

11

材料

不锈钢316L

12

标准密封材料

Viton?,    EPDM,  或其他由用户zhi定

13

漏率

1×10-8Pa.m3/s

14

接头

Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR。或其他由用户zhi定

15

输入输出信号

(0~+5.00)V (输入阻抗≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)

16

供电电源

±15V(±5%)(+15V  50mA,  -15V  200mA)

17

外形尺寸mm

130(宽)×102(高)×28(厚)

18

重量kg

0.8

 

 

 

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