高纯氩分析色谱原理和应用领域
更新时间:2024-10-25 点击次数:19次
高纯氩分析色谱是一种用于检测和分析高纯度氩气中微量杂质的技术。以下是对其原理的具体介绍:
一、基本原理
1、流动相输送:输液泵将流动相以稳定的流速或压力输送到分析系统中。
2、样品引入:在进入色谱柱之前,样品通过注射器被引入系统。
3、组分分离:流动相将样品带入色谱柱,在柱内各成分被分离。
4、信号检测:分离后的成分与流动相依次流向检测器,检测到的信号被发送给数据系统进行记录、处理或保存。
二、技术特点
1、高灵敏度:采用高频氩放电检测器,能够检测到极低浓度的杂质。
2、宽线性范围:检测器的线性范围宽广,适用于不同浓度级别的分析。
3、温度控制:柱箱温度范围广泛,程序升温精度高,适应多种分析条件。
三、应用领域
1、气体分析:
高纯氩分析色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体和电子工业气体中痕量杂质的检测。
2、材料保护:在半导体工业中,高纯氩用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体,以及化学气相沉积、溅射和退火过程中的惰性气体。
四、操作流程
1、系统检查:必要时检查洗脱液系统,调整减压阀指示。
2、设备启动:打开主机打印机等设备的电源开关,进入操作界面和系统操作面板。
3、样品处理:样品通过注射器进入色谱柱,流动相将样品带入色谱柱进行分离。
4、数据处理:探测器检测到的信号被发送到数据系统,完成样品后选择检测标准进行数据处理。
五、性能特点
1、显示监控:配备触摸屏液晶中文显示,实时显示各通道温度和运行情况。
2、安全报警:任何传感器开路,仪器自动显示并报警,确保使用安全。
3、气路稳定:高精度双稳定气路,可同时安装四个检测器,提高分析效率。
总的来说,高纯氩分析色谱仪以其高灵敏度、宽线性范围和广泛的应用领域,成为分析和检测高纯氩中微量杂质的重要工具。通过合理的操作和维护,可以有效提高分析的准确性和效率,满足不同行业的需求。